武田先端知ビルは、2004年12月竣工され、浅野キャンパス南部に位置します。2003年にタケダ理研工業株式会社（現株式会社アドバンテスト）の創業者武田郁夫の寄付により建設されました。 この武田先端知ビルの地下2階にはスーパークリーンルームがあり、様々な微細加工装置をご利用いただけます。 クリーンルームは地下1~3階にあり、総面積600m2で、3層構造完全ダウンフロー型です。クラス1のCR1、クラス1と100のCR2、クラス1000のCR3の三つに分かれています。（旧連邦規格） 武田SCR装置一覧 * リソグラフィー・露光・描画装置 * 成膜・膜堆積 * 膜加工・エッチング * 合成、熱処理、ドーピング * 表面処理 * 切削、研磨、接合 * 形状・形態観察、分析 * 電気計測 * 機械計測 * その他

The Takeda Advanced Science Building was completed in December 2004 and is located in the southern part of Asano Campus. It was built in 2003 with a donation from Ikuo Takeda, the founder of Takeda Riken Kogyo Co., Ltd. (currently Advantest Co., Ltd.). There is a super clean room on the second basement floor of this Takeda Advanced Science Building, where you can use various microfabrication devices. The clean room is located on the 1st to 3rd basement floors, has a total area of ​​600m2, and is a completely down-flow type with a 3-layer structure. It is divided into three categories: Class 1 CR1, Class 1 and 100 CR2, and Class 1000 CR3. (former federal standard) Takeda SCR Equipment List * Lithography, exposure and lithography equipment * Film deposition and deposition * Film processing, etching * Synthesis, heat treatment, doping * Surface treatment * Cutting, grinding, bonding * Shape and morphology observation, analysis * Electrical measurement * Mechanical measurement * Other

東大ARIM（東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点）は、微細加工部門（武田スーパークリーンルーム）と微細構造解析部門（総合研究機構）の二つの部門に分かれています。 総合研究機構装置一覧 * 走査透過型電子顕微鏡/透過型電子顕微鏡 * 走査型電子顕微鏡/集束イオンビーム走査電子顕微鏡複合装置 * クライオ透過型電子顕微鏡/有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 * X線回折装置 * 超微量元素分析システム * 物理特性/電気特性/表面計測装置 * 試料作製装置

The University of Tokyo ARIM (The University of Tokyo Advanced Research Infrastructure and Data Hub for Materials) is divided into two sections: the Microfabrication Section (Takeda Super Cleanroom) and the Microstructure Analysis Section (General Research Organisation). General Research Organisation Equipment List * Scanning transmission electron microscope/transmission electron microscope * Combined scanning electron microscope/focused ion beam scanning electron microscope * Cryo-Transmission Electron Microscope/High Contrast Transmission Electron Microscope for Organic Materials * X-ray diffraction systems * Ultra trace element analysis systems * Physical/electrical properties/surface measurement equipment * Sample preparation equipment

NANOBICと4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム 新川崎・創造のもりに 2012 年４月にオープンしたナノ・マイクロ産学官共同研究施設「NANOBIC ～ Global Nano Micro Technology Business Incubation Center」川崎市は、慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる「４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム」との連携により、ナノ・マイクロ分野の最先端の研究機器の共同利用や研究・教育などの支援に取り組み、川崎市内のものづくり企業の技術力と研究開発力の向上、産学連携による新産業の創出を目指しています。NANOBICは、ナノ・マイクロ技術にかかわる基礎研究から試作、計測・評価まで一気通貫で取り組むことができるナノ・マイクロ技術の産学官共同研究開発拠点です。 クリーンルームの総面積379m2あり、クラス10000（206m2）のホワイトルームとクラス100（173m2）のイエロールームに分かれています。 NANOBIC装置一覧 * 成膜 * 転写 * エッチング * 評価計測 * その他

Nano/Micro Fabrication Consortium with 4 Universities Nano/Micro Fabrication Consortium “NANOBIC ~ Global Nano Micro Technology Business Incubation Center” opened in April 2012 in Shin-Kawasaki Sozo no Mori. Through collaboration with the "Four Universities Nano/Micro Fabrication Consortium" consisting of Waseda University, Tokyo Institute of Technology, and the University of Tokyo, we are working to support joint use of cutting-edge research equipment in the nano/micro field and research and education. We aim to improve the technological capabilities and research and development capabilities of manufacturing companies in the city, and to create new industries through industry-academia collaboration. NANOBIC is an industry-university-government joint research and development base for nano/micro technology, which can handle everything from basic research related to nano/micro technology to prototyping, measurement, and evaluation. The clean room has a total area of 379m2, divided into a class 10000 (206m2) white room and a class 100 (173m2) yellow room. NANOBIC Equipment List * Deposition * Transfer * Etching * Evaluation and measurement * Other