ナノシステム集積センター

センター長挨拶

Greetings from the Center Director

ナノシステム集積センター長高橋浩之教授

Director of Nanosystem Integration Center Professor Hiroyuki Takahashi

東京大学浅野キャンパスの武田先端知ビルは東京大学におけるナノテク研究の拠点として、工学系ユーザーを中心として、2003年12月竣工以来、15年以上にわたり運用されてまいりました。武田先端知ビルの地下には総計600m2の3つのクリーンルームが稼働しておりますが、特に155m2の大きな面積を有するクリーンルーム1は清浄度の高いスーパークリーンルームであり、大面積・高精度の電子ビーム描画装置やリソグラフィを活用した本学の高度な研究が生み出される場となっております。

The Takeda Advanced Science Building on the Asano Campus of the University of Tokyo serves as a base for nanotechnology research at the University of Tokyo, Since Completed in December 2003, it has been operated for more than 15 years. rice field. Three clean rooms with a total area of 600 m2 are in operation in the basement of the Takeda Advanced Science Building. Clean Room 1, which has a particularly large area of 155 m2, is a super clean room with a high level of cleanliness. It is a place where our university's advanced research using equipment and lithography is born.

このクリーンルーム施設の実現には、1990年代から工学系研究科を組織横断する「ラボ」の活動があり、そのボトムアップの成果と寄附が結びついてできたものであり、以来17年間、文部科学省の装置共用事業であるナノテクノロジープラットフォームを中心に、多数の研究者が利用し、多くの研究成果をあげています。また、2021年度からは、10年間の長期事業である、マテリアル先端リサーチインフラ事業が新たにスタートいたしましたが、マテリアルDXプラットフォーム構想のもとに、東京大学は全国で5つあるハブ拠点の一つとして採択され、ナノテクノロジーの基盤を支える大型プロジェクトの獲得により、武田先端知ビルとクリーンルームの新たなフェーズに突入しているところです。

Since the 1990s, the creation of this clean room facility has been a cross-organizational "laboratory" of the Graduate School of Engineering. centered on the nanotechnology platform, which is a shared equipment project of I am giving In addition, from fiscal 2021, a new 10-year long-term business Materials Advanced Research Infrastructure Business will be launched. Although it has started, under the concept of the material DX platform, the University of Tokyo Adopted as one of the hub sites, we are entering a new phase with the Takeda Advanced Science Building and the clean room by acquiring a large-scale project that supports the foundation of nanotechnology.

このような状況のもと、ナノテクノロジー・量子技術・MEMS・NEMSなどの研究領域における優れたインフラとしてのクリーンルームとそこに設置されている多くの装置群をより活用して研究を進展させ、新たな知を生み出すとともに、微細加工装置から分析機器に至るまで東京大学の保有するナノテク関連の研究資源を実質的に集結させ、学内外の先生方のみならず、産業界にも利用していただき、社会に開かれた浅野キャンパスの中心的な存在としてより活性化させることを目的として、新たな工学系の附属センターとして、2022年4月1日にナノシステム集積センターが発足いたしました。　本センターへ多くの皆様方がご参加いただくことで、装置利用のスケールメリットがより大きくなり、共有資源をより豊かにすることが期待されるとともに、ここに参加される皆様方の対話を促進することで、研究交流が活発になされ、知識の共有と機会の提供につながることを目指していきます。どうかご支援のほどよろしくお願い申し上げます。

Under these circumstances, the clean room as an excellent infrastructure in research areas such as nanotechnology, quantum technology, MEMS, NEMS, etc., and the many equipment groups installed there will be used more effectively to advance research and develop new research. At the same time, we have practically gathered the nanotechnology-related research resources possessed by the University of Tokyo, from microfabrication equipment to analytical instruments, so that they can be used not only by researchers inside and outside the university, but also by the industrial world. The Nanosystem Integration Center was launched on April 1, 2022 as a new engineering affiliated center with the aim of revitalizing the Asano Campus as a central presence open to society. By having many people participate in this center, it is expected that the economies of scale of the use of the equipment will increase, and the shared resources will be enriched. By doing so, we aim to promote research exchanges, share knowledge, and provide opportunities. Thank you for your support.